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一种在InP衬底上外延生长II型GaSb/InGaAs量子点的方法
交易价格:¥2.5万
所属类型
发明专利
所属行业
H02-电力发电、变电、配电
所属国家
中国大陆
所属地域
广东省-广州市-天河区
PCT项
交易方式
  • 专利详情
  • 专利摘要
  • 主权利要求
  • 优先权项
  • PCT项
201410069486.4
发明专利
中国大陆
一种在InP衬底上外延生长II型GaSb/InGaAs量子点的方法
华南师范大学
已授权

本发明公开了一种IIGaSb/In0.53Ga0.47As量子点超晶格材料及其生长方法,该超晶格材第一层为生长在InP衬底上的In0.53Ga0.47As缓冲层,第二层为GaSb量子点,第三层为In0.53Ga0.47As缓冲层,第四层为GaSb量子点;其生长方法为先在InP衬底表面生长缓冲层后,生长4~5MLGaSb量子点,再生长缓冲层,最后再生长4~5MLGaSb量子点;本发明实现了采用MBE技术在InP衬底上以S-K模式生长获得GaSb/In0.53Ga0.47As量子点,其形貌质量好、光学性能佳;本发明方法有效避免了As-Sb互换,显著降低了晶格失配度和Ga原子迁移。

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