本实用新型属于显示器件技术领域，公开了一种氧化物薄膜晶体管。所述氧化物薄膜晶体管由依次层叠的玻璃基板、Ａｌ：Ｎｄ薄膜栅极、ＡｌＯｘ：Ｎｄ栅极绝缘层、氧化物半导体薄膜有源层、ＭｏＯｘ中间氧化层和Ｍｏ源／漏电极构成，所述ＭｏＯｘ中间氧化层自生成于Ｍｏ源／漏电极与有源层的接触界面之间。本实用新型在源／漏电极与有源层之间形成ＭｏＯｘ中间氧化层，能阻碍电极材料原子向有源层中扩散，实现源／漏电极和有源层之间欧姆接触，并有效地减少工艺步骤，降低成本。