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具有三明治结构的GaN-HEMT器件
交易价格:面谈
所属类型
实用新型专利
所属行业
H01-基本电器元件
所属国家
所属地域
PCT项
交易方式
  • 专利详情
  • 专利摘要
  • 主权利要求
  • 优先权项
  • PCT项
CN2019203792250
2019-03-22
实用新型专利
具有三明治结构的GaN-HEMT器件
华南理工大学
已授权

本实用新型公开了一种具有三明治结构的GaN?HEMT器件,所述GaN?HEMT器件包括外延层和电极,所述外延层包括GaN沟道层和AlyGa1?yN势垒层,并自上而下排布;所述电极包括栅电极、源电极、漏电极和场板电极,场板电极和栅电极分别制作于外延层的上表面和下表面,场板电极延伸超过外延层的区域与栅电极相连接形成三明治结构,源电极和漏电极分别位于所述外延层的两端。在保证导电沟道完整性的同时,使器件的导电沟道受到下栅极和上场板的场效应控制。具有三明治结构的GaN?HEMT器件提高了器件的击穿电压和栅压摆幅,提高了器件的线性度和耐压性能。

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