本实用新型涉及陶瓷机械手臂技术领域，尤其涉及一种一体化陶瓷机械手臂，包括固定臂，所述固定臂的一侧开设有用于夹持硅片晶圆的夹持槽，所述夹持槽的内壁对称固定连接有用于保护硅片晶圆的弧形缓冲垫，所述夹持槽的内壁中心开设有气孔，所述气孔的外侧固定连接有固定环，所述固定环的中心固定连接有过滤网，所述固定环的底部设有用于清理灰尘的灰尘堆积清除机构。本实用新型通过真空吸附过程中气流经过气孔与收集孔的吸附力带动灰尘堆积清除机构和敲击除尘机构的同步开启，通过真空吸附的吸力带动敲击除尘机构对固定环的振动敲击，解决了真空吸附吸附中滤网堵塞的问题，保证了真空吸附的吸附力度，显著提高了机械臂的夹持稳定性。