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一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法
交易价格:面谈
所属类型
发明专利
所属行业
H01-基本电器元件
所属国家
所属地域
PCT项
交易方式
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  • PCT项
CN2016106657410
2016-08-13
发明专利
一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法
华南理工大学
已授权

本发明公开了一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法。该方法包括以下步骤:(1)基底清洗;(2)基底烘干;(3)打印图形设计:设置D、S分别为TFT的漏极和源极,L为TFT的沟道长度,预设L的值为75μm,在所述漏极和源极的两侧分别设置用于搭测量探针的引出电极;(4)打印参数设置:设置打印机的参数为基板温度55℃~65℃,喷头温度55℃~65℃,墨滴间距30~35μm,调节打印机内施加于压电陶瓷之上的电压信号的前两波段的参数Slew Rate和Duration;(5)打印。本发明通过控制打印中的各种参数,包括压电波形参数,形成相应的优化方案,改善了TFT电极打印尤其是源漏电极的打印效果。

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