本发明属于半导体纳米材料制备技术领域，公开了一种具有室温铁磁性、纳米结构可控的稀磁半导体材料及其制备方法与装置。该材料由以下方法制得：将相同体积的醋酸锌、醋酸铜溶液分别置于双源超声雾化热解喷涂仪的两个盛液杯中，进行双源超声雾化热解喷涂，得到沉积于衬底上的纳米结构可控的稀磁半导体材料。本发明采用超声波来雾化前驱体，可获得更细小、均匀的雾气，且采用双源式雾化，不仅避免掺杂时溶液间的相互污染，同时易于控制组分结构，利于制备梯度膜或多层膜结构，通过对装置进行改进，制备得到不同纳米结构、各项性能良好的纯稀磁半导体材料，Ｍｓ可达３．８×１０?４ｅｍｕ／ｃｍ?２，Ｈｃ可达０．１ＫＯｅ，具备软磁的特征。