本发明公开了基于纳米硅薄膜复合阳极的微腔式OLED及其制作方法，采用甚高频增强型等离子体化学气相沉积技术制备P型掺杂纳米晶硅薄膜材料，并使其与ITO一起构成OLED的复合阳极，此复合阳极具有吸收率低、近似半反半透的光学特性，与高反射率的阴极Al使OLED产生了微腔效应，使得器件出光强度增大，电流效率和功率效率均有显著提高；而且，微腔的色坐标较常规OLED器件的色坐标有很大的改善，更加接近于标准值。这说明由于微腔效应使器件出光的色纯度更好，这有利于三基色合成彩色的实现。