本实用新型公开了一种微纳米刻划硬脆性材料试验装置；包括用于固定试验样品的试件夹具；用于固定试件夹具的作业平台；用于搭载刻划刀具在XYZ方向移动的XYZ轴移动机构；整个刻划试验装置放置于气浮平台上，调节平台下方有可以准确调节高度的调平螺栓。通过控制直线位移台的运动实现Z轴方向纳米精度的刻划深度；通过装夹不同锥角和圆弧半径的单颗金刚石刻划刀具进行刻划，研究脆性材料的材料去除和加工机制，实现不同深宽比结构的塑性加工；通过调平螺栓调节试样平台的夹角，实现高精度的变切深度刻划或等深度刻划。本试验装置结构简单，测试精度高，操作方便。