本发明公开了一种多极片层叠式电流体动力微泵，包括自上而下依次设置的：上盖板、上中下三层硅胶膜、上中下三层电极片等构成；上中下层电极片上的集电极和发射极构成梳齿状电极阵列；所述三层硅胶膜中间均加工出圆角矩形沟槽，在组装后与三层电极片通孔构成“Ｓ”型微泵腔室。使用时，先将液体流入管和液体流出管与外部循环系统连接，让液体充满整个腔室。然后连接５００Ｖ直流电源，利用电流体动力效应驱动液体流动。本电流体动力微泵采用多极片层叠式结构，三层腔室利用通孔相连，构成“串联”液体通道。三层电极片同时产生电场，增强了对离子的拖拽作用，大幅度提高了电流体动力泵的动力效果。