本发明公开了一种低功耗１２位流水线式逐次逼近模数转换器，包括６位子级逐次逼近模数转换器、运算放大器、７位子级逐次逼近模数转换器和数字延迟校准单元，所述６位子级逐次逼近模数转换器的残差信号输出连接到运算放大器的输入端，所述６位子级逐次逼近模数转换器的数字信号输出至数字延迟校准单元的高六位输入端，所述运算放大器的输出端连接至所述７位子级逐次逼近模数转换器的输入端，所述７位子级逐次逼近模数转换器数字信号输出连接所述数字延迟校准单元的低六位输入端。本发明能有效实现流水线模数转换器及逐次逼近比较器的结合，有效提高模数转换器的综合性能，并比同类模数转换器功耗低，在深亚微米工艺有广泛的应用前景。