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一种频率可调的薄膜体声波谐振器
交易价格:面谈
所属类型
实用新型专利
所属行业
H03-基本电子电路
所属国家
所属地域
PCT项
交易方式
  • 专利详情
  • 专利摘要
  • 主权利要求
  • 优先权项
  • PCT项
CN2020231951377
2020-12-24
实用新型专利
一种频率可调的薄膜体声波谐振器
华南理工大学
已授权

本实用新型公开了一种频率可调的薄膜体声波谐振器。该谐振器包括衬底、空气隙、电极和压电层的三明治结构及电极引出层;所述衬底与所述电极和压电层的三明治结构连接,衬底与所述电极和压电层的三明治结构的连接面向衬底内凹陷,形成空气隙;所述电极引出层与所述电极和压电层的三明治结构连接。所述电极和压电层的三明治结构包括底电极、压电层、中间电极及顶电极,电极与压电层相间排布形成三明治结构,所述底电极上层叠压电层,所述中间电极被压电层包裹,顶电极层叠在压电层上;所述压电层及中间电极的数量均为n个,n为整数且n的取值≥1。该谐振器可以根据外加偏置电压调整谐振倍频,适用于5G高频通信领域。

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