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一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器
交易价格:面谈
所属类型
实用新型专利
所属行业
H03-基本电子电路
所属国家
所属地域
PCT项
交易方式
  • 专利详情
  • 专利摘要
  • 主权利要求
  • 优先权项
  • PCT项
CN2019211798687
2019-07-25
实用新型专利
一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器
华南理工大学
已授权

本实用新型公开了一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器,由上至下依次包括电极铝、压电基片、温度补偿层及衬底;所述衬底设有空腔,空腔与贯穿于温度补偿层、压电基片的释放通孔相通,所述压电基片为单晶材料。本实用新型在不改变压电基片的厚度情况下,谐振器的中心频率随着电极对激励方向的改变而发生变化。

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