本发明提供了一种基于SiC功率器件的全桥LLC谐振型等离子体电源,其特征在于:包括主电路和控制电路;所述主电路包括依次连接的整流滤波模块、高频全桥逆变模块、高频变压模块和快速整流滤波模块;所述整流滤波模块与三相交流输入电源连接,快速整流滤波模块与负载连接;其中,高频全桥逆变模块采用全桥逆变LLC型零电压软开关拓扑结构;所述高频全桥逆变模块、高频变压模块、快速整流滤波模块分别与控制电路连接,以实现由控制电路控制电源输出。该等离子体电源效率高,具有高功率密度,可靠性高,可降低电磁干扰强度并能够实现较大功率输出,具有良好动态响应性能,有利于实现对等离子体负载的高速精确调控。
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